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シリコン熱酸化膜とその界面―基礎物性から超LSIへの応用まで
西岡 泰城/大木 義路/西川 宏之/服部 健雄/岩崎 裕/森田 悦郎/吉見 年弘/桜井 真理/島貫 康/下田 高広/今井 馨太郎/蒲原 史朗/鳥海 明/塩野 登/塩澤 順一/山部 紀久夫/安田 直樹/高木 信一/谷口 研二