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リソグラフィ技術 その40年
岡崎 信次/田中 初幸/花畑 誠/鴨志田 洋一/野崎 耕司/渡邊 健夫/関口 淳/Chris A. Mack/上野 巧/関口 淳
ノボラックレジスト 材料とプロセスの最適化
堀邊 英夫/田中 初幸/花畑 誠/山本 雅史/関口 淳/虎谷 秀一/望月 則宏/萬 尚樹
半導体集積回路用レジスト材料ハンドブック
中瀬 真/山岡 亜夫/上野 巧/塘 洋一/後河 内透/内藤 卓哉/村井 二三夫/花畑 誠/中村 二朗/松尾 隆弘/伊東 敏雄/老泉 博昭/田中 稔彦/橋本 訓/木原 尚子/松澤 敏晴/大藤 武/田中 初幸/上野 巧/田中 啓順