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シリコン結晶・ウェーハ技術の課題―大口径化,平坦化
岸野 正剛/山部 紀久夫/杉浦 順/千川 圭吾/篠山 誠二/堀岡 佑吉/阿部 孝夫/高須 新一郎/滝口 蓮一/永井 秀幸/増田 健二/鈴木 誉也/清水 博文/津屋 英樹/大橋 弘通/堀江 浩/原 明人/井上 靖朗/岸野 正剛