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半導体集積回路用レジスト材料ハンドブック
中瀬 真/山岡 亜夫/上野 巧/塘 洋一/後河 内透/内藤 卓哉/村井 二三夫/花畑 誠/中村 二朗/松尾 隆弘/伊東 敏雄/老泉 博昭/田中 稔彦/橋本 訓/木原 尚子/松澤 敏晴/大藤 武/田中 初幸/上野 巧/田中 啓順
Gビット時代へのリソグラフィ技術
滝川 忠宏/舛岡 富士雄/藤田 鋼一/笠間 邦彦/森本 博明/井上 壮一/鈴木 章義/中川 健二/大塚 博/中瀬 真/塘 洋一/東内 圭一郎/徳田 憲昭/藤野 毅/斉藤 徳郎/安田 洋/大木 茂久/鈴木 克美
Gビット時代へのリソグラフィ技術―クォーターミクロンからサブクォーターミクロンへ向けて
滝川 忠宏/舛岡 富士雄/藤田 鋼一/間 邦彦/森本 博明/加門 和也/宮本 照雄/井上 壮一/鈴木 章義/中川 健二/大塚 博/中瀬 真/塘 洋一/東内 圭一郎/笠間 邦彦/徳田 憲昭/藤野 毅/斉藤 徳郎/安田 洋